哈工大科研团队实现二维铁电材料超分辨微纳结构图案化可控制造

    5月29日电，近日，哈尔滨工业大学机电工程学院杨立军教授、丁烨副教授团队和材料科学与工程学院李洋教授团队提出了一种在空气中利用远场飞秒激光刻蚀技术在二维铁电材料上直写超分辨纳米沟槽阵列结构的新方法。相关研究成果发表在《自然通讯》(Nature Communication)上。该研究突破了纳米结构激光制备的分辨率瓶颈，对创新功能架构构建、电子器件集成及纳米光子学发展具有重要意义。